簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "陳士勛".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="化學機械拋光"


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    探討化學機械拋光用於改善氧化鋅異質磊晶於雲母可撓性基板之平坦度
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 林瑩秀 指導教授: 陳士勛
    • 隨著科技的發展,大眾對於電子產品的需求越來越多樣化,其中具備可撓特性之電子產品是近年來的發展趨勢,為了使傳統的電子元件擁有可撓的功能,大多利用可撓性基板取代傳統硬基板,而因為白雲母(Muscovit…
    • 點閱:204下載:6

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    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓化學機械拋光之研究
    • 機械工程系 /105/ 碩士
    • 研究生: 黃裕程 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(SiC)為一高崩潰電壓及低阻抗的材料,因此在高功率元件市場上有較大之需求,然而因單晶碳化矽晶圓之高硬度、高抗化學性等性質,使其在製造過程有加工時間繁長及成本高等問題。本研究主要針對單…
    • 點閱:302下載:7
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